rca清洗属于什么清洗

多晶硅超声波清洗机在IC生产和半导体元器件制造中扮演着重要角色,它专为晶片湿法化学工艺设计,适用范围广泛该设备的核心功能在于高效清洁,能够剥离晶片表面的有机物微小颗粒金属杂质自然氧化层,以及石英塑料等表面附着物,同时保持晶片表面特性的完整性在集成电路制造流程中,炉前清洗RCA清洗。晶圆清洗设备在硅衬底工艺中起着关...