SiC衬底设备与传统晶硅差异较小，工艺调教为核心壁垒主要包括长晶炉切片机研磨机抛光机清洗设备等与传统传统晶硅设备具一定相通性但工艺难度更高碳化硅衬底第三方设备厂商较少，企业更多为设备+制造一体化布局为主，便于将核心工艺机密掌握自己手里设备+工艺联合研发形成互哺是关键。不能碳化硅SiC是一种非常硬耐热的材料...